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碱性蚀刻中蚀刻剂的pH值的调整

来源:未知 发布时间:2015-10-24 00:54 点击: 
溶液的pH值在铜的可溶性控制、蚀刻速率和侧蚀方面非常关键。pH值对光致抗蚀剂的性能也有重大的影响,低pH值有助于少的侧蚀(较高的蚀刻系数)。因此,较低的pH值可以被应用于精细线路的蚀刻。然而,对于一个给定的碱性蚀刻体系,pH值必须高于最低值(依赖于铜的浓度), 目的是为了维持溶液中的铜盐含量。如果pH值过低,必须通过降低排气,降低铜含量,加入氨水或增加补充液中的总碱度。
 
高pH值一般是针对快速蚀刻而言的。相反,低pH值是针对慢速蚀刻的。因此,高pH值的碱性蚀刻剂一般运用于高产率的生产。高pH值有助于较多的铜的溶解 高pH值会产生较大的侧蚀并会影响到一些光致抗蚀剂的性能,特别是水溶性光致抗蚀剂。当碱性蚀刻液的pH值较高时,一些水溶性的抗蚀剂就会软化,甚至被剥除。所以当pH值过高时,必须增加排气量,升高铜含量或降低补充液中的总碱度。
 
在手机听筒防尘网加工中,补充液中的NH4OH提供了大量的需要维持碱性的pH值(远高于7.0)的基础液,但额外需要的氨水要求达到推荐的pH值范围(远大于7.0)。氨水或NH 4OH的添加通常是由一个pH感应控制系统自动完成的。因为NH 4OH含水,所以水的损失/补加就必须保持平衡,以确保添加的水不会使氯离子或铜的浓度降低到它们的推荐值下面。系统每天都开,但板子不是连续运行的,所以水会因挥发造成损失,但这种损失远少于从NH OH添加液中获得的量。当氨水中不含会搅乱系统平衡性的水时,氨气在pH值的控制下会工作得很好,但使用时是相当危险的。
 
通常溶液的pH值是在25时进行检测最好,溶液比较稳定, 建议使用的pH值介于7.6~8.5之间。
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